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VGT-15204FST VGT-15204FST硅片晶圆威固特超声波清洗机

价格1.00-1.00
  • 公司名称深圳市威固特超声波科技开发有限公司
  • 品牌
  • 型号VGT-15204F
  • 所在地深圳市
  • 厂商性质
  • 更新时间2020/2/29 15:35:22
  • 访问次数 83
规格
VGT-15204FST1.00元2 台可售

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VGT-15204FST硅片晶圆威固特超声波清洗机
产品特点:
1、械手或多机械手组合,实现工位工艺要求。  
2、PLC全程序控制与触摸屏操作界面,操作便利。  
3、自动上下料台,准确上卸工件。

VGT-15204FST硅片晶圆威固特超声波清洗机

VGT-15204FST硅片晶圆威固特超声波清洗机

型号:VGT-15204FST

产品特点:

     1、械手或多机械手组合,实现工位工艺要求。  

 2、PLC全程序控制与触摸屏操作界面,操作便利。  

 3、自动上下料台,准确上卸工件。  

 4、净化烘干槽,独特的烘干前处理技术,工作干燥无水渍。  

 5、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。  

 6、具备抛动清洗功能,保证清洗均匀。  

 7、全封闭清洗均匀。  

 8、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。

应用范围:

 1、炉前清洗:扩散前清洗。  

 2、光刻后清洗:除去光刻胶。  

 3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。  

 4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。  

 5、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。  

 6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。  

 7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。  

 8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。  

 9、CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。  

 10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污

技术参数:

超声波功率:10.2KW

超声波频率:28,40,60KHZ

换能器数量:204个

电源电压:220V

技术优势:

硅片晶圆生产清洗工艺中,使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。清洗硅片晶圆同时也采用了: 三套独立的电脑控制机械臂自动化作业;第三代zui xin技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落 ;独特的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不liu ren何水痕 ;成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身 。


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